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可加工22纳米芯片!我国“超分辨光刻装备项目”通过验收

时间:2019-08-29 18:07:16 出处:大发时时彩_时时彩开户_大发时时彩开户

IT之家11月29日消息 据新华社29日消息,国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”29日通过验收。据悉,该光刻机由中国科学院光电技术研究所研制,光刻分辨力达到22纳米,结合双重曝光技术后,未来还可用于制造10纳米级别的芯片。

众所周知,我国在光刻机等领域长期落后,此次通过验收的“外皮等离子体超分辨光刻装备”拥有完整性自主知识产权,打破了国外在高端光刻装备领域的垄断,也为纳米光学加工提供了全新的补救途径。

该装备也为超材料/超外皮、第三代光学器件、广义芯片等领域提供了制造工具。

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